采用增量式數(shù)字光柵，精度高；
采用交叉導(dǎo)軌，剛度強(qiáng)，高負(fù)載，高導(dǎo)向精度；
Z軸采用音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)，兩個(gè)組合，結(jié)構(gòu)緊湊；
適用于：半導(dǎo)體檢測行業(yè), 激光切割, 生物技術(shù), 計(jì)量, 激光打標(biāo)。
LMT-XYZ一體式直線平臺
具有精度高、剛性高、負(fù)載大、導(dǎo)向性高；
增量式光柵采用非接觸式安裝，非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會對測量造成影響；
交叉式導(dǎo)軌，減少摩擦，讓運(yùn)行更平滑，防止蠕變；
在原有的XY平臺上直接搭載音圈Z軸，結(jié)構(gòu)更緊湊，滿足客戶更多元的使用需求。
| 參 數(shù) | LMT-XY-200*200 | NFZ10 | ABVT-Z20(氣浮導(dǎo)軌) |
| 有效行程 mm | 200*200 | 10 | 10 |
| 光柵分辨率 nm | 默認(rèn)100nm數(shù)字量（可選1vpp模擬量或者其他分辨率） | 1vpp細(xì)分至5nm | |
| 重復(fù)定位精度 μm | ±0.3 | ||
| 定位精度μm | ±1 | ±0.5 | ±0.5 |
| 平面度 μm | 10 | 8 | 5 |
| 直線度 μm | 1 | 1.5 | 1 |
| 電機(jī)類型 | 三相無鐵芯直線電機(jī) | 音圈電機(jī) | 音圈電機(jī) |
| 電機(jī)推力 | 持續(xù)60N/峰值210N | 持續(xù)30N/峰值90N | 持續(xù)27N/峰值119N |
| 最大速度 mm/s | 500 | 50 | 30 |
| 最小步長 nm | 200 | 200 | 100 |
| 最大負(fù)載 kg | 5（Z軸帶氣動(dòng)恒力平衡配重） | ||
