雙電機(jī)驅(qū)動(dòng)、雙光柵反饋；
載荷大、精度高；
適用于生物基因測(cè)序、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測(cè)、CCD成像、晶圓檢測(cè)、等高端行業(yè)。
GLMT-XY超高精度直線電機(jī)平臺(tái)
下軸配備雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)、搭配雙光柵閉環(huán)反饋；
采用大理石作為基座,穩(wěn)定性好、強(qiáng)度大、硬度高，在重負(fù)荷下保持高精度，抗磁，使用壽命長；
適用于生物基因測(cè)序、玻璃板切割、激光加工、屏幕檢測(cè)、CCD成像、晶圓檢測(cè)、等高端行業(yè)。
| 參 數(shù) | GLMT-XY-250*250 | -360*360 |
| 有效行程 mm | 250*250 | 360*360 |
| 光柵分辨率 nm | sin\cos 4.88nm（可選其它更高分辨率） | |
| 重復(fù)定位精度 μm | ±0.3 | |
| 定位精度 | ±1μm/100mm | ±1.5μm/100mm |
| 平面度 μm | ±2 | ±3 |
| 直線度 μm | 1.5 | 1.5 |
| 電機(jī)類型 | 三相無鐵芯直線電機(jī) | |
| 上軸電機(jī)推力 | 持續(xù)220N 峰值440N | |
| 下軸電機(jī)推力 | 持續(xù)330N*2 峰值660N*2 | |
| 最大速度 m/s | 500mm/s | |
上軸空載加速度 g | 4.5G | |
| 下軸空載加速度 g | 3G | |
| 最小步長 nm | 10nm（搭配nanopwm或者線性驅(qū)動(dòng)器） | |
| 最大負(fù)載 kg | 15 | 30 |
